磨床廠家詮釋數(shù)控磨床真空機器人技術(shù)

（1）數(shù)控磨床真空機器人新構(gòu)型設(shè)計技術(shù)：通過結(jié)構(gòu)分析和優(yōu)化設(shè)計，避開國際，數(shù)控磨床設(shè)計新構(gòu)型滿足真空機器人對剛度和伸縮比的要求；    

（2）數(shù)控磨床大間隙真空直驅(qū)電機技術(shù)：涉及大間隙真空直接驅(qū)動電機和高潔凈直驅(qū)電機開展電機理論分析、結(jié)構(gòu)設(shè)計、制作工藝、電機材料表面處理、低速大轉(zhuǎn)矩控制、小型多軸驅(qū)動器等方面。  

（3）數(shù)控磨床真空環(huán)境下的多軸精密軸系的設(shè)計。采用數(shù)控磨床軸在軸中的設(shè)計方法，減小軸之間的不同心以及慣量不對稱的問題。   

（4）數(shù)控磨床動態(tài)軌跡修正技術(shù)：通過數(shù)控磨床傳感器信息和機器人運動信息的融合，檢測出晶圓與手指之間基準(zhǔn)位置之間的偏移，通過動態(tài)修正運動軌跡，保證機器人準(zhǔn)確地將晶圓從真空腔室中的一個工位傳送到另一個工位。    

（5）數(shù)控磨床符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的真空機器人語言：根據(jù)數(shù)控磨床真空機器人搬運要求、機器人作業(yè)特點及SEMI標(biāo)準(zhǔn)，完成真空機器人專用語言。    

（6）數(shù)控磨床可靠性系統(tǒng)工程技術(shù)：在IC制造中，設(shè)備故障會帶來巨大的損失。根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備對MCBF的高要求，對各個部件的可靠性進行測試、評價和控制，提高機械手各個部件的可靠性，從而保證機械手滿足IC制造的高要求。